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無塵車間淨化等級劃分是依據什麼·☁?

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無塵車間淨化等級劃分是依據什麼·☁?

釋出日期↟₪╃▩•:2020-05-25 作者↟₪╃▩•:李樹貴 點選↟₪╃▩•:

淨化等級一般分為100級↟☁·◕、1000級↟☁·◕、10000級↟☁·◕、100000級↟▩,現在2010年版的GMP淨化車間已經不用這個叫法了↟▩,分為ABCD級別↟▩,分別相對應於98版的幾個級別↟▩,透過檢測區域內的塵埃粒子數↟☁·◕、浮游菌數↟☁·◕、沉降均數評價淨化級別↟▩,各個級別有不同的要求↟▩,淨化等級分靜態↟☁·◕、動態兩種•│。

 

 

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()潔淨室之等級世界各國均有自定規格↟▩,但普遍還是用美國聯邦標準209為多↟▩,以下僅就209D209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較•│。  

209E209D等Z大之不同在於209E表示單位

增加了公制單位↟▩,潔淨室等級以M′字頭表示↟▩,如M1↟☁·◕、M1.5↟☁·◕、M2.5↟☁·◕、M3….以此類推↟▩,配合國際公制單位之標準化↟▩,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示↟▩,取指數為之↟▩,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間↟▩,則以1.5↟☁·◕、2.5↟☁·◕、3.5….表示•│。

潔淨網z:Wg1pj   美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位↟▩,日本則是採用公制↟▩,即以每立方公尺為單位↟▩,以0.1μm微粒子為計數標準•│。日本標準之表示法以Class 1↟▩,Class 2↟▩,Class 3……Class8表示↟▩,Z好的等級為Class 1↟▩,Z差則為Class 8↟▩,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方↟▩,取其指數而得•│。

()潔淨室之定義  潔淨室(Clean Room)↟▩,亦稱為無塵室或潔淨室•│。 「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子↟☁·◕、有害空氣↟☁·◕、細菌等之汙染物排除↟▩,並將室內之溫度↟☁·◕、潔淨度↟☁·◕、室內壓力↟☁·◕、氣流速度與氣流分佈↟☁·◕、噪音振動及照明↟☁·◕、靜電控制在某一需求範圍內↟▩,而所給予特別設計之房間•│。亦即是不論外在之空氣條件如何變化↟▩,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度↟☁·◕、溫溼度及壓力等效能之特性•│。  

潔淨室Z主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫溼度↟▩,使產品能在一個良好之環境空間中生產↟☁·◕、製造↟▩,此空間我們稱之為「潔淨室」•│。

()潔淨室控管之專案  

1.能除去空氣中飄遊之微塵粒子•│。  

2. 能防止微塵粒子之產生•│。  

3. 溫度和溼度之控制•│。  

4. 壓力之調節•│。  

5. 有害氣體之排除•│。  

6. 結構物與隔間之氣密性•│。  

7. 靜電之防治•│。  

8. 電磁干擾預防•│。  

9. 安全因素之考慮•│。  

10. 節能之考量•│。


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